点击图片查看原图首先，真空系统清洗前，要了解和确定被清洗的污染物的特性。具体的清洗操作要根据污染物的特点来确定采用何种方式来进行。复杂的污染物还需要通过不同的方式进行多级反复清洗，以达到*佳的清洗效果。
确定污染的特性之后，用户即可相应地选择合适的清洗方法。如溶剂清洗种类很多、适应范围很广，选择溶剂时需要考虑污染物和材料的性质，针对性选用合适、有效的清洗剂和溶剂。要注意清洗溶剂多不相容，须保证换洗前彻底清除前一种清洗溶剂；清洗过程要保证清洗液的顺序在化学上是相容和可容混的，且不会有沉淀。
对于一些洁净真空工艺，溶剂本身会造成污染，那时就不适用了。对于一些具有超强粘合强度的污染物，加热清洗等会破坏清洗表面的情况下，就可采用辉光放电清洗等等。
同时对复杂、多级清洗，要注意根据清洁的等级程度，建立合理的操作顺序。如酸碱溶液切换，其间需要用纯水冲洗；水溶液换成有机液需要用助溶剂进行处理等。*后的冲洗液需要尽可能的纯，而且通常需要是易挥发的，以保证无残留。
真空系统清洗完成后，要妥善安置，做好防护，避免被再次污染。
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