点击图片查看原图一、溶剂清洗。
待清洗的油封式真空泵部件
溶剂清洗是真空系统清洗中*为普遍的一种方法。常见的清洗溶剂包括有机溶剂、含洗涤剂的水、稀酸、碱、石油分馏物、各种金属清洗剂等等。根据污染物的不同，需要用不同的溶剂进行清洗。如矿物油脂需要用有机溶剂，锈蚀物需要用酸性金属清洗剂等。
二、超声波清洗。
超声波清洗是利用超声空隙作用来清洗目标，可以实现很强的物理清洗作用，清除较强粘附污染物。超声波清洗可以进入复杂的异形孔道，是很多清洗方法无法实现的。超声波清洗在应用中，需要根据污染物的不同，配合各类清洗溶剂。
三、蒸汽脱脂清洗。
蒸汽脱脂清洗适用于对表面油脂膜和类脂膜的清洗，操作方法简单，可以实现大批量清洗。一些带有牢固附着物或污染较为严重的基片在擦洗或超声波清洗后，用蒸汽脱脂清洗可以实现很好的清洗效果，常用于玻璃物件清洗的*后一步。
四、电解侵蚀清洗。
电解侵蚀清洗类似于电解抛光，是指在溶剂中利用电解作用，清除金属部件表面上的薄锈或氧化膜等污染物，主要用于化学稳定性较高的合金部件，如不锈钢，耐热钢，镍基合金等。
五、加热和辐照清洗。
加热清洗主要是将部件置于常压或真空中加热，使其表面上的易挥发污染物挥发来达到清洗的目的。辐照清洗则是通过紫外辐照来分解部件表面上的碳氢化合物。
六、放电清洗。
放电清洗一般用于高真空、超高真空系统清洗中。利用电子轰击气体造成解吸以及某些碳氢化合物的去除。放电清洗的效果取决于电极材料、几何形状及其与表面的关系。
七、氮气清洗。
氮气清洗主要是利用了氮气在材料表面的吸附热小、吸留时间短，容易被抽走的特性，用氮气冲洗被污染的真空系统，同时挤占水气等其他气体分子的粘附空间，缩短真空系统的抽气时间。
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