组件,温度可低至-196℃,;真空系统可选机械泵或分子泵系统,真空度可达到10-3Tor。
高低温真空探针台应用:
可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析,如:半导体/微电子,电子,机电,物理,化学,材料,光电,纳米,微机电/MEMS,生物芯片,航空航天等科学研究领域,以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。
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组件,温度可低至-196℃,;真空系统可选机械泵或分子泵系统,真空度可达到10-3Tor。
高低温真空探针台应用:
可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析,如:半导体/微电子,电子,机电,物理,化学,材料,光电,纳米,微机电/MEMS,生物芯片,航空航天等科学研究领域,以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。
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