• 采用的恒功率传感器原理,在温度变化时进行相应的补偿,从根本上抑制了流量计的零现象,保证了传感器线性。
• CS200C产品采用专门的金属表面处理技术,与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV,CS200C产品金属表面粗糙度更可达10RA以下,CS200D产品金属表面粗糙度可达25RA。
• CS200产品严格按照SEMI标准生产制造,尺寸符合国际通用的SEMI标准。
• CS200系列产品支持±8V±16V双电源, +14V+28V单电源供电;数字,模拟输入输出。
• 产品支持RS485,DeviceNet通讯方式。
• 具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件。
腐蚀性气体质量流量计气体配比器
产品型号 | KT-PCS4Z | KT-C4ZS | |||
气体通道 | 4进1出 | 4进1出 | |||
可根据需求定制 | |||||
产品类型 | 高精度型/快速响应型/智能控制/触摸屏控制 | ||||
可选量程 | 20sccm-30slm(气体量程根据客户需要可选) | ||||
产品精度 | 高精度型±1%F.S | 普通型±1%F.S | |||
重复精度 | 高精度型±0.2% F.S | 普通型±0.2% F.S | |||
线性 | 高精度型±0.5% F.S. | 普通型±1% F.S. | |||