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减震台采用6mm厚1Cr17优质高导磁不锈钢，均布25mm孔距M6螺纹孔，台面布M6螺孔阵距25mm×25mm，振幅≤5um，台面平整精度0.1mm/m2 ，表面粗糙度0.8μm-1μm， 固有频率垂直3～6Hz 水平3～6Hz ，负载重量1200kg。
探针台机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa，加热台温度 196-350℃，探针臂精度≤0.01mm
减震真空探针台
| 真空腔体 | |
| 腔体材质 | 304不锈钢 |
| 上盖开启 | 铰链侧开 |
| 加热台材质 | 304不锈钢 |
| 内腔体尺寸 | φ160x90mm |
| 观察窗尺寸 | Φ70mm |
| 加热台尺寸 | φ60mm |
| 观察窗热台间距 | 75mm |
| 加热台温度 | ﹣196350℃ |
| 加热台温控误差 | ±1℃ |
| 真空度 | 机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
| 允许正压 | ≤0.1MPa |
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