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腐蚀性气体质量流量计气体配比器，
• 采用的恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零现象，保证了传感器线性。
• CS200C产品采用专门的金属表面处理技术，与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV，CS200C产品金属表面粗糙度更可达10RA以下，CS200D产品金属表面粗糙度可达25RA。
• CS200产品严格按照SEMI标准生产制造，尺寸符合国际通用的SEMI标准。
• CS200系列产品支持±8V±16V双电源, +14V+28V单电源供电;数字，模拟输入输出。
• 产品支持RS485，DeviceNet通讯方式。
• 具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件。
气体配比器 主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境. 控制方式采用集成化模块控制 功能延伸性强 根据客户要求随意添加该气体配比器可以外接两种或多种气体,采用质子型流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏。| 产品型号 | KT-C3Z | |
| 产品类型 | 高精度型/快速响应型/智能控制/触摸屏控制 | |
| 可选量程 | 20sccm-30slm(气体量程根据客户需要可选) | |
| 产品精度 | 高精度型±1％F.S | 普通型±1％F.S |
| 重复精度 | 高精度型±0.2% F.S | 普通型±0.2% F.S |
| 线性 | 高精度型±0.5% F.S. | 普通型±1% F.S. |
| 响应时间 | 高精度型≤2sec | 普通型≤4sec |
| 工作温度范围 | (545)°C | |
| 供电电源 | 85-265VAC 50/60Hz | |
| 功耗 | 40W | |
| 进气口压 | ≤0.6MPa | |
| 连接管道 | 316不锈钢管道 | |
| 截止阀类型 | 电磁阀 | |
| 单向阀开启压力 | 0.02Mpa | |
| 压力显示量程 | 0-0.6Mpa | |
| 控制方式 | 7寸触摸屏智能调节 | |
| 时间设定 | 0-32000分钟 | |
| 清洗功能 | 一键清洗 | |
| 程序控制 | 5段可编程序(时间-流量随意设定值) | |
| 压力显示 | 有（出气压力检测） | |
| 气体混合罐 | 有 | |
| 气体加热 | 无（可选配气体混合罐加热，加热温度室温-350℃可调） | |
| 流量累计 | 有（累计当前运行总流量） | |
| 可选进出气口接头形式 | 3mm,6mm,1/8mm,1/4mm双卡套接头 | |
| 抗电磁干扰 | 有 | |
| 外形尺寸 | 460X210X480 | |
| 重量 | 18KG | |
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