技术参数:
控制方式 | 手动控制/自动控制切换 |
前级泵接口 | KF25(客户根据真空环境洁净度要求自行安装前级泵) |
分子泵 | FF-100/150 51000转/分 |
分子泵抽气速率 | 140L/S |
分子泵启动时间 | ≤2min |
空载极限压强 | ≤1X10-4Pa |
真空测量方式 | 冷阴极标准规管 |
真空测量范围 | 1E﹢2到1E-5 Pa |
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技术参数:
控制方式 | 手动控制/自动控制切换 |
前级泵接口 | KF25(客户根据真空环境洁净度要求自行安装前级泵) |
分子泵 | FF-100/150 51000转/分 |
分子泵抽气速率 | 140L/S |
分子泵启动时间 | ≤2min |
空载极限压强 | ≤1X10-4Pa |
真空测量方式 | 冷阴极标准规管 |
真空测量范围 | 1E﹢2到1E-5 Pa |
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